超純水系統中的過(guò)濾與凈化主要包括以下幾個(gè)步驟：
 

　　預處理：一般會(huì )使用精密過(guò)濾裝置，主要目的是去除水中顆粒污染物、余氯以及鈣鎂離子等，以保護后續設備的運行。
 

　　初級過(guò)濾：水會(huì )通過(guò)初級過(guò)濾系統如過(guò)濾器或顆粒過(guò)濾器，以去除大顆粒雜質(zhì)、懸浮物和固體顆粒。
 

　　高級過(guò)濾：包括反滲透、電去除、紫外線(xiàn)消毒等步驟。反滲透通過(guò)半透膜的壓力和孔徑限制，去除水中的溶解性固體、有機物和大部分離子；電去除通過(guò)電化學(xué)反應進(jìn)一步去除水中的離子和有機物；紫外線(xiàn)消毒則使用紫外線(xiàn)照射水源，以殺滅或去除水中的微生物。
 

　　最終處理：經(jīng)過(guò)高級過(guò)濾后的水源還需要進(jìn)行一系列的處理步驟，以確保其達到超純水的標準。例如蒸餾，通過(guò)加熱水源，使其蒸發(fā)并重新凝結，以去除絕大部分的溶解性固體和有機物；再如再離子交換，使用更高效的離子交換樹(shù)脂，進(jìn)一步去除水中的離子；最后通過(guò)納濾膜去除更小的顆粒和有機物。
 

　　以上信息僅供參考，建議咨詢(xún)有關(guān)超純水系統專(zhuān)業(yè)人士獲取更全面而準確的信息。